用国产替代 让“中国芯”自在“呼吸”！建德开发区广钢气体做到了

这里不生产芯片，却守护着中国芯片制造的“呼吸命脉”。基地生产的设备将把随处可见的空气，提炼成高价值的电子气体。

“我们打破垄断的Super-N系列产品，氮气纯度能达到99.9999999%，也就是ppb级，杂质含量低于十亿分之一，相当于十亿粒精白大米中，只允许混入一粒沙子。”广钢气体工艺技术研发中心制造高级总监章伟星站在一台巨型模块化真空冷箱前，敲了敲银色壳体说道。

空气进入深冷空分装置，要先被压缩到高压，再降温到-196℃液化，在精馏塔里逐步分离——氮气、氧气先产出，再经过多次浓缩提纯，先进芯片制造离不开的稀有气体：氪、氙也会在流程中分别被捕集和富集。

据了解，在芯片制造的众多环节中，超高纯氮气是贯穿始终的基础“环境气”和保护气——从晶圆搬运、光刻到刻蚀、沉积，氮气几乎无处不在。同时，精馏过程中富集回收的氪、氙等稀有气体，也是刻蚀、沉积等特定工艺的关键材料——被称为半导体制造的“工业血液”。缺少这类气体，芯片等先进制程生产将遭受严重影响。过去二十年，这块市场基本被几家海外巨头攥在手里，国内晶圆厂不仅议价被动，关键气体一断供，整条产线就得停摆。

广钢气体的突破口，是自主研发的Super-N系列超高纯制氮机。最新下线的Super-N 30K Pro，配套的大型模块化真空冷箱是目前全球同品类最大规格之一——Super-N系列超高纯制氮装置最大产能达到5万标准立方米每小时，比肩国际巨头。

“精馏塔是制氮装置的‘心脏’。过去关键部件靠进口，现在从材料预处理到内件装配，全部由建德智造基地自主完成。”章伟星介绍，Super-N系列氮气纯度稳定达到ppb级，同时副产高纯氧及粗氪氙液，可充分满足先进半导体严苛生产要求。

“建德智造基地总投资2.68亿元，占地65.9亩，从破土到投产只用了9个月20天。”章伟星记忆犹新，项目团队倒排工期、挂图作战，连春节都没停工。“建德速度”背后，彰显着长三角县域承载高端制造产业的强劲能力。

如今，广钢气体电子大宗气体现场制气国内市场占有率位列前茅。建德智造基地Super-N系列实现核心部件100%国产化，将海外企业长达20年的技术垄断撕开了一道口子。

“未来，从建德智造基地下线的每一台国产核心设备，都承载着保障半导体供应链安全、服务国家战略性新兴产业的承诺。”章伟星话语坚定。

很多人好奇：一家广州国资背景的气体企业，为什么把核心智造基地落子于建德？

答案藏在产业逻辑里——电子大宗气体装备属于“重资产+高工艺壁垒”赛道，既依托长三角完善的高端制造配套体系，也需要县域层级的土地、能耗和政务服务空间。建德经济开发区马目片区物流半径友好，供应链协同成本低，可谓“刚刚好”。

更关键的是“自主可控”四个字的分量。在芯片制造的物料清单里，电子气体品类丰富、单品消耗量差异大，但缺一不可——就像人体血液里的微量元素，微量杂质超标或气源中断，都可能造成整片晶圆报废。广钢气体董事长邓韬有着清晰的判断：智造基地产出的不只是成套设备，更是筑牢“中国芯”不可或缺的供应链韧性。

目前，产能更大的Super-N 50K制氮机已向国内某头部集成电路客户现场交付。基地一期规划年产6套深冷设备、15套成撬装置、30台低温储槽及30台压力容器，相较进口方案，装备整体交货周期将实现大幅缩短。

傍晚时分，再次望向那座银白厂房——焊花轻闪，吊臂起落，生产繁忙而有序。这条新安江畔的“气体走廊”，正悄然汇入中国半导体产业的大江大河，见证着“中国智造”从这里出发，奔赴远方。

这是建德经济的一个新切面：不再单纯依托生态文旅资源，而是靠“硬科技+县域承载力”接住国家战略产业的溢出。从杭氧特气到广钢气体智造，新安江流域正在形成一条低调却关键的“气体装备走廊”。

“当前，国内高端电子气体与核心装备正迎来国产化替代的黄金窗口期。接下来，广钢气体将紧抓半导体高端制造发展机遇，依托建德智能装备制造基地，把高端电子气体服务和智能装备制造产业做得更强更大。”广钢气体工艺技术研发中心总经理李伟表示。

从看不见的空气，到“卡脖子”的电子气，再到支撑“中国芯”的底气，广钢气体建德智造基地用一次次技术突破，硬气实现了国产替代。也回答了新质生产力最朴素的问题：把一件事做到极致，寻常空气也能带来“真金白银”。